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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)及半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,對樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)觀測是推動技術(shù)突破的核心環(huán)節(jié)。然而,傳統(tǒng)切片機常因振動干擾、厚度偏差等問題,導(dǎo)致樣品邊緣碎裂、層間剝離或成像模糊,嚴(yán)重制約研究效率。RMC半薄切片機憑借其亞微米級精度控制與智能化操作體系,成為制備高質(zhì)量薄片樣品的革命性工具,為透射電鏡(TEM)、原子力顯微鏡(AFM)等高級分析技術(shù)提供了可靠保障。1.動態(tài)振動補償技術(shù):突破厚度極限的“穩(wěn)定器”傳統(tǒng)切片機在高速切削時,刀片與樣品間的微小振動會引發(fā)“厚度波動效應(yīng)”,導(dǎo)致薄...
一、ZYGO共聚焦干涉儀技術(shù)突破:從實驗室精度到工業(yè)環(huán)境適應(yīng)性抗振與動態(tài)測量能力傳統(tǒng)干涉儀對環(huán)境振動極為敏感,需在恒溫、隔振實驗室中運行。ZYGO通過QPSI™(快速相位偏移干涉)技術(shù),結(jié)合波長調(diào)制采樣方式,使共聚焦干涉儀在振動環(huán)境下仍能保持高精度測量。例如,其300mm立式球面干涉儀(VWS)在生產(chǎn)環(huán)境中實現(xiàn)RMS波前重復(fù)性優(yōu)于1納米,曲率半徑測試不確定度達百納米級,突破了實驗室級儀器對環(huán)境的嚴(yán)苛依賴。大口徑與復(fù)雜曲面測量針對工業(yè)大尺寸元件(如光刻物鏡透鏡),Z...
一為什么EUV離不開EBL?很多人會疑惑:既然EUV已經(jīng)能高效量產(chǎn)先進芯片,為什么還要投入精力研發(fā)電子束光刻?答案藏在兩者的“分工”里。EUV追求的是“批量生產(chǎn)的經(jīng)濟性”,就像印刷廠的大型設(shè)備,能快速復(fù)制已有的設(shè)計;而EBL解決的是“從0到1的可行性”,如同作家的鋼筆,負(fù)責(zé)創(chuàng)造全新的“故事”沒有EBL,EUV的掩模版無從談起——這種高精度的“模具”是芯片量產(chǎn)的基礎(chǔ),必須依靠電子束光刻的納米級分辨率(可達2nm)來制作。更重要的是,在3nm以下制程研發(fā)、量子計算、二維材料等前沿...
在科技日新月異的今天,白光干涉共聚焦顯微鏡作為光學(xué)顯微技術(shù)領(lǐng)域的一顆璀璨明珠,正以其特殊的成像原理和杰出的性能,推動著微觀世界探索的新風(fēng)潮。它不僅極大地提升了我們對材料表面形貌、薄膜厚度、粗糙度等微觀特性的認(rèn)知能力,還在半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等多個領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用潛力。白光干涉共聚焦顯微鏡的核心優(yōu)勢在于其結(jié)合了白光干涉與共聚焦掃描兩大技術(shù)。白光干涉技術(shù)利用光波的干涉原理,通過測量樣品表面反射光與參考光之間的光程差,精確重構(gòu)出樣品表面的三維形貌。這種技術(shù)具有非接觸、無損...
為什么微觀觀察是污染研究的“第一道門”?微橡膠顆粒的環(huán)境危害,與其微觀形貌、表面特性、粒徑分布密切相關(guān):粗糙的表面更容易吸附重金屬和有機污染物,細(xì)小的粒徑則能穿透生物屏障進入細(xì)胞。但這些顆粒直徑多在1-500微米之間,遠(yuǎn)超光學(xué)顯微鏡的分辨極限,傳統(tǒng)檢測手段難以捕捉關(guān)鍵細(xì)節(jié)。澤攸科技ZEM系列臺式掃描電鏡的出現(xiàn),為研究者打開了微觀觀察的“快速通道”。無需復(fù)雜樣品制備,即可實現(xiàn)納米級分辨率成像,讓微橡膠顆粒的真實面貌清晰呈現(xiàn)——這正是青島科技大學(xué)等團隊在TWP與LAP毒性對比研究...
在科研領(lǐng)域,顯微鏡就像科學(xué)家的“火眼金睛”,幫我們看清微觀世界的奧秘。而電子源,就是這雙眼睛的“光源”,其性能直接決定了觀測的精度和效率。最近,由北京大學(xué)等團隊聯(lián)合研發(fā)的“光纖集成石墨烯超快電子源”登上了《NatureCommunications》,用創(chuàng)新設(shè)計打破了傳統(tǒng)電子源的諸多限制,而澤攸科技的ZEM系列臺式掃描電鏡,更是為這項研究提供了關(guān)鍵助力傳統(tǒng)電子源的“老大難”:效率低還“嬌氣”提到電子源,你可能會覺得陌生,但它卻是真空電子技術(shù)的核心。無論是高精度的時間分辨成像,還...
在納米材料研發(fā)、先進儲能器件優(yōu)化及半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,材料在服役環(huán)境中的動態(tài)行為研究至關(guān)重要。北京儀光憑借澤攸SEM/TEM原位分析系統(tǒng),突破了傳統(tǒng)靜態(tài)表征的局限,為科學(xué)家提供了實時觀測材料微觀結(jié)構(gòu)演變的“納米級顯微鏡”,成為推動材料科學(xué)突破的關(guān)鍵工具。1.原位SEM:動態(tài)形變與失效機制的“現(xiàn)場直播”ZEM系列臺式掃描電鏡搭載的原位拉伸/壓縮模塊,可在真空或可控氣氛環(huán)境中對金屬、陶瓷、高分子材料進行納米級精度的力學(xué)加載。例如,在鋰離子電池隔膜研究中,通過原位SEM可實時觀察隔膜...
在現(xiàn)代電子設(shè)備中,有一群“隱形功臣”——微型BUMPS。它們是集成電路里的核心連接器,負(fù)責(zé)實現(xiàn)堆疊管芯或中介層之間的電氣和機械連接,手機、平板、電腦等設(shè)備能高效運轉(zhuǎn),可離不開它們的功勞。01高精度測量,全面分析使用50倍干涉鏡頭,Sneox能對微型BUMPS進行三維輪廓測量,在高分辨率下全面分析,驗證其高度、直徑和平整度,有效防止粘合失敗并優(yōu)化電氣性能。更厲害的是,僅需3秒就能分析所有測量數(shù)據(jù),大大提高了效率。02性能,優(yōu)勢盡顯速度驚人:采用新的智能算法以及新型相機,數(shù)據(jù)采集...
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