S neox共聚焦白光干涉的表面觀測(cè)方案
從毫米級(jí)的部件輪廓到納米級(jí)的表面紋理，現(xiàn)代產(chǎn)品的質(zhì)量控制與研發(fā)創(chuàng)新需要跨越多個(gè)尺度的表面信息。單一的測(cè)量技術(shù)往往難以兼顧大范圍掃描的高效率與微觀細(xì)節(jié)的高分辨率。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀通過(guò)其集成的多模式光學(xué)系統(tǒng)，旨在提供一種能夠適應(yīng)不同空間尺度測(cè)量需求的解決方案。
S neox平臺(tái)的核心設(shè)計(jì)理念之一是測(cè)量靈活性與數(shù)據(jù)完整性。它集成的共聚焦和白光干涉技術(shù)，本質(zhì)上覆蓋了從亞納米到毫米級(jí)的垂直測(cè)量范圍，以及相應(yīng)的橫向分辨率。用戶(hù)可以根據(jù)感興趣的特征尺寸和表面特性，選擇最合適的物鏡和測(cè)量模式。例如，需要快速評(píng)估一個(gè)幾毫米見(jiàn)方區(qū)域的整體平整度時(shí)，可以選擇低倍物鏡結(jié)合白光干涉模式進(jìn)行快速掃描。而當(dāng)需要深入分析該區(qū)域內(nèi)某個(gè)微小區(qū)域的亞微米級(jí)紋理或缺陷時(shí)，則可以無(wú)縫切換到高倍物鏡的共聚焦模式進(jìn)行高分辨率測(cè)量。這種無(wú)縫切換的能力，使得用戶(hù)無(wú)需移動(dòng)樣品或更換設(shè)備，就能獲得從宏觀到微觀的連貫數(shù)據(jù)。
為了進(jìn)一步擴(kuò)展觀測(cè)尺度，S neox系統(tǒng)通常支持圖像拼接功能。無(wú)論是通過(guò)共聚焦還是白光干涉模式，都可以將多個(gè)相鄰視場(chǎng)的測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)拼接在一起，生成遠(yuǎn)超單個(gè)視場(chǎng)范圍的大面積三維形貌圖。這對(duì)于需要統(tǒng)計(jì)分析的表面（如均勻性評(píng)估）或測(cè)量跨越多個(gè)視場(chǎng)的特定特征（如長(zhǎng)劃痕或大臺(tái)階）非常有用。拼接后的數(shù)據(jù)保持了高分辨率，使得用戶(hù)既能縱覽全局，又能放大觀察任一局部細(xì)節(jié)。
這種跨越尺度的能力在多個(gè)行業(yè)都有實(shí)際應(yīng)用。在精密加工領(lǐng)域，一個(gè)零件可能同時(shí)存在需要控制的宏觀幾何形狀（如曲率半徑、平面度）和微觀表面光潔度。S neox可以在一套系統(tǒng)上完成這兩類(lèi)參數(shù)的測(cè)量與關(guān)聯(lián)分析。在功能性涂層或表面處理行業(yè)，涂層的有效性可能體現(xiàn)在納米到微米級(jí)的表面結(jié)構(gòu)變化上，但其影響范圍可能是整個(gè)部件。通過(guò)大范圍拼接測(cè)量，可以分析涂層處理的均勻性和一致性。在學(xué)術(shù)研究中，觀察材料從微觀組織到宏觀性能的關(guān)聯(lián)時(shí)，多尺度的表面形貌數(shù)據(jù)能夠提供更豐富的線索。
除了靜態(tài)的形貌測(cè)量，系統(tǒng)的軟件分析工具也支持多尺度的參數(shù)提取。用戶(hù)可以在整個(gè)掃描區(qū)域上計(jì)算整體粗糙度，也可以在指定的局部感興趣區(qū)域（ROI）內(nèi)分析更精細(xì)的紋理參數(shù)。這種靈活的數(shù)據(jù)處理方式，使得測(cè)量結(jié)果能夠更精準(zhǔn)地服務(wù)于特定的分析目的。
此外，系統(tǒng)的自動(dòng)化功能，如自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)、多點(diǎn)位自動(dòng)測(cè)量等，保障了在不同尺度、不同區(qū)域進(jìn)行重復(fù)測(cè)量時(shí)的穩(wěn)定性和效率，這對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境下的質(zhì)量控制尤為重要。
因此，Sensofar S neox光學(xué)輪廓儀可以被視為一個(gè)多功能的表面觀測(cè)平臺(tái)。它通過(guò)集成多種光學(xué)技術(shù)、支持多尺度掃描與拼接、以及提供強(qiáng)大的分析軟件，幫助用戶(hù)打破測(cè)量尺度的限制，更全面、更高效地獲取產(chǎn)品表面從宏觀輪廓到微觀紋理的完整三維信息，為深入理解表面特性與其功能之間的關(guān)系提供了有效的工具。
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