ZYGO ZeGage Pro維護與保養(yǎng)要點

1. 環(huán)境管理：

   
   

• 穩(wěn)定性：設(shè)備應(yīng)始終放置在穩(wěn)固、抗震的工作臺或光學(xué)平臺上。避免將其安置在靠近門、走廊、重型設(shè)備或其它明顯振源的位置。

  
  

• 清潔度：保持設(shè)備周圍環(huán)境清潔，減少灰塵。定期清潔設(shè)備外殼。

  
  

• 溫濕度：在設(shè)備規(guī)格允許的溫度和濕度范圍內(nèi)運行（通常建議溫度穩(wěn)定在20°C ± 2°C，相對濕度<60%）。避免溫度劇烈波動和陽光直射，防止光學(xué)部件結(jié)露。

  
  

2. 規(guī)范操作：

   
   

• 按照手冊順序開機（通常先硬件后軟件）和關(guān)機。關(guān)機前，建議將光源亮度調(diào)低。

  
  

• 取放樣品時動作輕柔，避免碰撞物鏡或樣品臺。確保樣品重量不超過載物臺承重限制。

  
  

3. 光學(xué)部件清潔（需格外謹(jǐn)慎）：

   
   

• 物鏡前透鏡、參考鏡窗口、樣品臺玻璃等光學(xué)表面極易受污染，應(yīng)作為日常清潔重點。

  
  

• 清潔時，首先使用干凈、柔軟的專業(yè)吹氣球吹去浮塵。

  
  

• 如需進一步清潔，使用專用的顯微鏡鏡頭紙或棉簽，蘸取極少量高純度溶劑（如無水乙醇或?qū)Ｓ苗R頭清潔劑），從中心向外以螺旋方式輕輕擦拭。切勿用力按壓或來回刮擦。

  
  

• 切勿用手指直接觸摸光學(xué)表面，避免使用普通紙巾、衣物或含研磨劑的清潔劑。

  
  

4. 樣品臺與機械部件：

   
   

• 保持樣品臺X、Y、Z導(dǎo)軌清潔，可用干凈軟布擦拭。避免灰塵或樣品碎屑積聚。

  
  

• 除非手冊明確說明，否則不要自行給運動部件添加潤滑油。

  
  

1. 性能驗證：定期（如每月或每季度）使用經(jīng)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品對設(shè)備進行驗證，這是確保測量準(zhǔn)確性的核心。

   
   

• 臺階高度標(biāo)準(zhǔn)片：用于驗證Z軸（垂直方向）測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。

  
  

• 橫向尺度標(biāo)準(zhǔn)片（如光柵）：用于驗證XY方向（橫向）的尺寸測量精度和分辨率。

  
  

• 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)片：用于驗證表面粗糙度參數(shù)測量的重復(fù)性。

  
  

• 將驗證結(jié)果記錄在案，建立設(shè)備性能歷史檔案。

  
  

2. 光源狀態(tài)監(jiān)測：注意觀察白光LED光源的亮度。隨著使用時間增長，亮度會自然衰減。如果發(fā)現(xiàn)測量時所需光源強度顯著增高或信噪比下降，可能需要聯(lián)系服務(wù)人員檢查光源狀態(tài)。

   
   

3. 系統(tǒng)狀態(tài)檢查：定期檢查設(shè)備有無異常聲音、運動是否順暢、連接線纜是否完好。如發(fā)現(xiàn)圖像持續(xù)模糊、干涉條紋異常、軟件頻繁報錯或測量重復(fù)性明顯變差，應(yīng)暫停使用并聯(lián)系技術(shù)支持。

   
   

1. 軟件與配置備份：定期備份測量軟件的配置文件、用戶自定義的測量“配方"、校準(zhǔn)數(shù)據(jù)以及重要的分析方法。

   
   

2. 數(shù)據(jù)管理：建立規(guī)范的測量數(shù)據(jù)存檔和備份制度，防止數(shù)據(jù)丟失。

   
   

• 預(yù)防性維護：建議按照制造商推薦的周期（通常每年一次）進行全面的預(yù)防性維護。內(nèi)容包括：內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)清潔與校準(zhǔn)、機械部件檢查與調(diào)整、電子系統(tǒng)性能測試、軟件更新等。

  
  

• 定期校準(zhǔn)：進行全面的系統(tǒng)校準(zhǔn)，以確保所有測量軸線的精度符合出廠規(guī)格或相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

  
  

• 故障診斷與維修：當(dāng)設(shè)備發(fā)生硬件故障或出現(xiàn)無法排除的軟件問題時，應(yīng)由專業(yè)工程師進行診斷和處理。

  
  

• 日常使用情況（操作人員、測量樣品類型等）。

  
  

• 清潔和維護的日期及內(nèi)容。

  
  

• 性能驗證的日期、結(jié)果和操作人員。

  
  

• 任何異常現(xiàn)象、故障描述及處理過程。

  
  

• 所有專業(yè)維護、校準(zhǔn)和維修的日期、內(nèi)容及服務(wù)工程師信息。
  這份檔案不僅有助于跟蹤設(shè)備狀態(tài)，還能在出現(xiàn)問題時為快速診斷提供重要線索。

  
  

通過堅持執(zhí)行上述日常維護、定期檢查和專業(yè)保養(yǎng)，用戶可以最大限度地維持ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀的性能穩(wěn)定，確保其持續(xù)為表面計量工作提供可靠支持，并有效保護設(shè)備投資。

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