Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測

產品簡介

Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測專屬配置 S neox搭載光譜反射法（SR）模塊，專為薄膜檢測設計，無需樣品預處理即可實現非破壞性測量。

產品型號：S neox

更新時間：2026-01-23

廠商性質：代理商

訪問量：167

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Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測

Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測

S neox搭載光譜反射法（SR）模塊，專為薄膜檢測設計，無需樣品預處理即可實現非破壞性測量。設備配備薄膜專用物鏡，能聚焦光線至薄膜表面，配合高靈敏度探測器捕捉干涉光譜。軟件內置薄膜分析算法，可自動優化層厚度與折射率參數，直至找到最佳擬合結果。檢測平臺采用微調結構，能精準對準薄膜樣品的檢測區域。

二、性能優勢：快速精準的厚度測量

該模塊能測量 10nm 至 20μm 的透明薄膜，厚度分辨率達 0.1nm，橫向分辨率可達 5μm。單次檢測耗時不到 1 秒，適合批量薄膜樣品的快速篩查。支持 1 至 10 層的多層薄膜測量，能清晰區分各層厚度，滿足復合薄膜檢測需求。測量數據重復性良好，多次檢測同一位置的偏差可忽略不計。

三、用材與檢測保障

光學鏡頭針對薄膜檢測的光譜范圍優化了鍍膜工藝，在可見光至近紅外波段保持高透光率。探測器選用高靈敏度型號，能捕捉微弱的薄膜干涉信號，減少測量誤差。設備內部采用溫度補償設計，避免環境溫度變化影響光譜分析精度，保障檢測穩定性。

四、操作流程與應用領域

以透明薄膜厚度檢測為例：1. 將薄膜樣品平鋪在檢測平臺上，確保表面無褶皺；2. 打開軟件，選擇 “薄膜檢測" 模塊，設置單層 / 多層模式；3. 點擊 “掃描"，設備快速采集干涉光譜并進行分析；4. 1 秒內生成厚度數據，可導出 Excel 格式存檔。該設備廣泛應用于半導體薄膜、光學薄膜、醫用薄膜等領域，可檢測薄膜厚度均勻性、折射率等關鍵參數。

五、核心參數簡表

項目	規格
檢測技術	光譜反射法（SR）
薄膜厚度范圍	10nm-20μm
厚度分辨率	0.1nm
橫向分辨率	可達 5μm
檢測速度	＜1 秒 / 次
支持層數	1-10 層